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    微型,高性能,电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜

    S13124-01是电磁驱动振镜,结合了我们独特的MEMS(微机电系统)技术。 通过将磁铁布置在振镜下方,可以使设备占地空间更小。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。

    产品特点
    · 线阵模式下进行二维扫描 能够进行矢量扫描和step operation
    · 小型紧凑
    · 低电压驱动:适合安装在设备上
    · 带有光窗:防止异物污染
    · 提供评估电路:C15087(另售)
    典型应用
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    产品介绍

    微型,高性能,电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜

    S13124-01是电磁驱动振镜,结合了我们独特的MEMS(微机电系统)技术。 通过将磁铁布置在振镜下方,可以使设备占地空间更小。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。


    产品型号及主要指标
    类型
    For 2-dimensional scan
    扫描模式
    2-axis linear scan
    运行模式
    First axis: Linear mode Second axis: Linear mode
    振镜尺寸
    φ1.95 mm
    振镜材料
    Aluminium
    光学偏转角
    First axis: ±10° Second axis: ±10 °
    驱动频率(最大值)
    First axis: 90 Hz Second axis: 90 Hz
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