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  • 测试仪器
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  • 光学系统及部件
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    压电器件
    光纤拉伸器 压电促动器 驱动器
  • 太赫兹产品
    太赫兹激光器
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    太赫兹相机
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    太赫兹元件
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    太赫兹组件
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  • 高速电子产品
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    伺服控制器
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  • 激光二极管及激光器驱动
    激光二极管
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  • 光纤及光纤熔接处理
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    其他特殊光纤
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    光纤熔接处理
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    OCT光谱仪
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  • 光学平台及光机械产品
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    气浮隔振光学平台 阻尼隔振光学平台
    • MEMS 振镜
    微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜
    S13989-01H是电磁驱动振镜，结合了我们独特的MEMS（微机电系统）技术。 通过将磁铁布置在振镜下方，可以使设备占地空间更小。 通过采用气密密封包装，可实现高可靠性。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。
    产品特点
    · 低电流运行
    · 超小型尺寸
    · 较大的光学偏转角
    典型应用
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    产品介绍
    微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜

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    产品型号及主要指标

    类型
    For 2-dimensional scan
    扫描模式
    2-axis raster scan
    运行模式
    Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode
    振镜尺寸
    φ1.23 mm
    振镜材料
    Aluminium
    光学偏转角
    Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 °
    驱动频率（最大值）
    Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz


    外形尺寸图（单位：mm)

    2.png

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